中芯寧波自(zi)主研發的BAW濾波器晶圓工藝平臺(tai)實現(xian)量產
發布日期:
2021-11-15

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近日(ri),中芯(xin)集成電路(寧波(bo)(bo))有(you)限公(gong)司(si)(簡稱(cheng):中芯(xin)寧波(bo)(bo))自主研發的體聲波(bo)(bo)(BAW)諧振器(qi)工藝(yi)技(ji)術平臺:SASFR?,已(yi)經(jing)支(zhi)持多家設計公(gong)司(si)實現(xian)射頻(pin)前端中高(gao)頻(pin)BAW濾波(bo)(bo)器(qi)量(liang)產,客戶產品性能已(yi)達到國(guo)內最優、業界先進水平,可開始向高(gao)端手機供貨,在(zai)中國(guo)大(da)陸(lu)獨樹一幟,也在(zai)長期被國(guo)外廠商壟斷的中高(gao)端BAW濾波(bo)(bo)器(qi)領(ling)域,實現(xian)了具(ju)有(you)全自主知識產權(quan)的核(he)心技(ji)術和規模制造突(tu)圍。


SASFR?(Suspended Acoustic Separated Film Resonator,懸(xuan)浮聲學隔(ge)離薄膜諧振器(qi))是中芯寧(ning)波(bo)全自(zi)主(zhu)開發并擁有全套自(zi)主(zhu)知(zhi)識產權(quan)的一種懸(xuan)臂式(shi)薄膜體(ti)聲波(bo)諧振器(qi)工藝(yi)與器(qi)件技(ji)術,包含集成空腔的諧振器(qi)前(qian)道(dao)晶圓(yuan)工藝(yi)平(ping)臺以及后(hou)道(dao)晶圓(yuan)級芯片封裝與測試配套技(ji)術。與業界沿用多年的傳統技(ji)術路線大相徑庭,SASFR? 平(ping)臺在薄膜工藝(yi)構架(jia)和諧振器(qi)件設計上,實現(xian)了真正意(yi)義(yi)上的自(zi)主(zhu)創(chuang)新突(tu)破(po),且其諧振器(qi)關鍵性能(neng)指標可與國際競品比(bi)肩,個別性能(neng)甚(shen)至高于國際水(shui)平(ping)。


這一(yi)自主知識產(chan)(chan)權(quan)的BAW濾波(bo)(bo)器(qi)晶圓工藝平(ping)臺,其核(he)心MEMS諧振(zhen)器(qi)能(neng)夠實現(xian)射(she)頻信(xin)號的高(gao)性(xing)能(neng)篩選(xuan)、降噪、濾波(bo)(bo)或諧振(zhen)等(deng)多重功能(neng)。基于這一(yi)平(ping)臺設(she)計的0.8至6.0GHz射(she)頻濾波(bo)(bo)器(qi)產(chan)(chan)品,具有低插(cha)損(sun)、高(gao)隔離度、微型化、高(gao)功率、體積(ji)小(xiao)等(deng)諸多優點,應用范圍(wei)廣泛,所(suo)支持產(chan)(chan)品設(she)計和開(kai)發靈活性(xing)強,基本覆(fu)蓋了5G通信(xin)所(suo)有領域,如手機、無(wu)線通信(xin)基站(zhan)、智(zhi)能(neng)電表,以及(ji)智(zhi)能(neng)家(jia)電信(xin)息交互(hu)等(deng)應用場(chang)景。


SASFR?工藝技術和規模(mo)制造(zao)平臺是中芯寧波的(de)核(he)心產(chan)(chan)品線之(zhi)一。2019年(nian)啟動射頻產(chan)(chan)品線研發后,中芯寧波只用不到兩年(nian)的(de)時間,就通過了(le)多家客戶的(de)產(chan)(chan)品認證并實現(xian)量產(chan)(chan)。


據(ju)新聲(sheng)公司(si)負責人表示,選擇中(zhong)芯(xin)寧(ning)波(bo)(bo)(bo)作為戰略合作伙(huo)伴的(de)最重要(yao)原因是,SASFR?工藝平(ping)臺是中(zhong)芯(xin)寧(ning)波(bo)(bo)(bo)CEO黃河博(bo)士親自(zi)率(lv)領團隊從零開始全自(zi)主開發(fa),知識(shi)產權完(wan)全自(zi)主可控(kong)。啟(qi)動客戶推(tui)廣與產品(pin)合作以(yi)來,新聲(sheng)在中(zhong)芯(xin)寧(ning)波(bo)(bo)(bo)代工的(de)體聲(sheng)波(bo)(bo)(bo)濾波(bo)(bo)(bo)器良(liang)率(lv)和(he)可靠性快速(su)提升。中(zhong)芯(xin)寧(ning)波(bo)(bo)(bo)用兩年的(de)時間(jian)走(zou)過了國外IDM十年的(de)發(fa)展道(dao)路。


據了解,此前中芯(xin)寧(ning)波相關(guan)業(ye)(ye)務負(fu)責人曾表(biao)示,公(gong)司CEO黃河(he)博士(shi)是SASFR?的(de)核心發(fa)明(ming)人。中芯(xin)寧(ning)波研(yan)發(fa)和晶(jing)圓廠運營團隊在黃河(he)博士(shi)的(de)領導(dao)下從零起步,排除(chu)各種質疑,戰勝無(wu)數(shu)艱難(nan)險阻(zu),純粹(cui)憑借團隊自身的(de)力量,堅(jian)定(ding)地走全(quan)自主工藝技術(shu)開發(fa)道路,短時間內(nei)完成了全(quan)套BAW濾波器晶(jing)圓制造工藝、晶(jing)圓級封裝和測試的(de)開發(fa)、設置和驗證(zheng)并進入產(chan)業(ye)(ye)化,創造了奇跡。


業(ye)內專(zhuan)家評價(jia)說(shuo),中芯寧波SASFR?制造平(ping)臺(tai)的成功充分說(shuo)明,憑借自主創新的堅(jian)定決心(xin)、團結實(shi)干的優秀隊伍和(he)互信共(gong)贏的市(shi)場(chang)合作(zuo),完(wan)全(quan)有(you)可能在一(yi)些(xie)國外壟斷的領域實(shi)現知識產(chan)權安全(quan)的產(chan)業(ye)化(hua)突破。


隨著5G商(shang)用的(de)啟動,國(guo)(guo)內(nei)濾(lv)(lv)波器出貨量呈(cheng)現爆發式增長態勢。業內(nei)分析(xi)機構預測,2022年全球濾(lv)(lv)波器市場(chang)規模將(jiang)達到160億美(mei)元,其(qi)中BAW濾(lv)(lv)波器占比約47%,市場(chang)規模約75億美(mei)元。目前,國(guo)(guo)內(nei)中高頻BAW濾(lv)(lv)波器市場(chang)仍然主要被Broadcom和Qorvo等國(guo)(guo)外廠商(shang)所壟斷。?



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微波與射頻濾波器的設計技術及實現

作者(zhe):(法)皮埃爾(er)·雅(ya)里,(美)雅(ya)克·本(ben)尼特

當當



關于中芯寧波


中芯(xin)集(ji)成(cheng)電路(lu)(寧(ning)波(bo)(bo)(bo))有限公(gong)(gong)司由中芯(xin)國(guo)際(ji)(ji)、國(guo)家集(ji)成(cheng)電路(lu)產(chan)業投(tou)資基金(大(da)(da)(da)基金)和地方產(chan)投(tou)基金等聯合投(tou)資,2016年底落戶寧(ning)波(bo)(bo)(bo)北(bei)侖(lun)區,是(shi)寧(ning)波(bo)(bo)(bo)市集(ji)成(cheng)電路(lu)產(chan)業龍頭企業。公(gong)(gong)司于2020年12月(yue)完成(cheng)B輪(lun)融資后,三家社會資本為(wei)并列第一大(da)(da)(da)股(gu)東,中芯(xin)國(guo)際(ji)(ji)為(wei)第四大(da)(da)(da)股(gu)東,大(da)(da)(da)基金為(wei)第五大(da)(da)(da)股(gu)東。


中芯寧波專注于射頻前(qian)端(duan)、高壓模擬和光電集成特(te)(te)種(zhong)工藝(yi)半導體(ti)領域,核(he)心(xin)技術(shu)和管理團(tuan)隊(dui)以曾(ceng)在(zai)中芯國(guo)際(ji)從事特(te)(te)種(zhong)工藝(yi)研(yan)(yan)發(fa)和生產的專業成員(yuan)(yuan)為基(ji)礎,并(bing)吸收了來自(zi)英特(te)(te)爾、臺積電、瑞薩和應(ying)用(yong)材(cai)料等(deng)國(guo)內(nei)外優秀半導體(ti)企業的資深管理和技術(shu)專家。目前(qian),公司員(yuan)(yuan)工總數約(yue)800人(ren)(ren)(ren),其中研(yan)(yan)發(fa)人(ren)(ren)(ren)員(yuan)(yuan)占比約(yue)30%,人(ren)(ren)(ren)均經(jing)驗超(chao)過15年,工程技術(shu)人(ren)(ren)(ren)員(yuan)(yuan)占比超(chao)過85%。


中(zhong)芯寧(ning)波(bo)規劃建(jian)設和運營兩條具有業界先進(jin)技術水平(ping)的特種工藝(yi)集(ji)成電(dian)路(lu)晶(jing)圓制造(zao)產(chan)線,其中(zhong)位(wei)于小港(gang)裝備產(chan)業園的8英寸(cun)N1產(chan)線已(yi)于2018年(nian)11月(yue)投產(chan),位(wei)于柴橋芯港(gang)小鎮的N2項目于2020年(nian)6月(yue)開工建(jian)設,2021年(nian)6月(yue)如期(qi)完成首部(bu)機臺搬入。


成立以來,中芯寧波(bo)在CEO黃河博士的(de)(de)領(ling)導下,不忘初心、牢記(ji)使命(ming)、低(di)調務實、奮斗為(wei)本(ben),不以國外任何(he)現(xian)成技術(shu)為(wei)參考(kao),堅(jian)定地(di)走基(ji)礎性、原理性的(de)(de)自主(zhu)創新之路,承擔科技部和(he)工信部牽頭的(de)(de)“03專(zhuan)項(xiang)”和(he)“工業強基(ji)”等國家重大(da)專(zhuan)項(xiang)技術(shu)攻關,并(bing)構建了完整的(de)(de)知識(shi)產(chan)權保護(hu)體(ti)(ti)系。公(gong)司(si)(si)研(yan)發(fa)投(tou)入逐年遞增,2017年至2020年分(fen)別為(wei)4000萬元(yuan)(yuan)、7200萬元(yuan)(yuan)、1.5億元(yuan)(yuan)、1.9億元(yuan)(yuan),2021年預計達到3.7億元(yuan)(yuan)。截至2021年10月(yue),中芯寧波(bo)的(de)(de)國內國外專(zhuan)利(li)申(shen)請(qing)總量超過700件,研(yan)發(fa)團隊(dui)人均專(zhuan)利(li)申(shen)請(qing)量在國內半導體(ti)(ti)制造(zao)領(ling)域排名第一(yi)。2021年5月(yue),公(gong)司(si)(si)入選(xuan)浙(zhe)江省創造(zao)力百強,成為(wei)寧波(bo)唯一(yi)一(yi)家獲此殊榮的(de)(de)半導體(ti)(ti)公(gong)司(si)(si)。


中芯寧(ning)波以(yi)客戶需(xu)求為導向,采(cai)用(yong)專業(ye)(ye)(ye)(ye)化(hua)特種(zhong)工(gong)藝(yi)晶圓(yuan)制(zhi)造(zao)代工(gong)(Foundry)與(yu)(yu)(yu)應用(yong)定(ding)制(zhi)化(hua)產品設計服務支持相結合的(de)商(shang)(shang)業(ye)(ye)(ye)(ye)和運營模式(shi),目(mu)標市場涵蓋(gai)5G通(tong)信與(yu)(yu)(yu)移動終端、智能家(jia)電與(yu)(yu)(yu)工(gong)業(ye)(ye)(ye)(ye)控制(zhi)、工(gong)業(ye)(ye)(ye)(ye)物(wu)聯網與(yu)(yu)(yu)醫療(liao)電子等多個(ge)戰(zhan)略(lve)性新興產業(ye)(ye)(ye)(ye),致力于在專注領域發展(zhan)成為中國最大(da)、具有國際(ji)先進水(shui)平的(de)特種(zhong)工(gong)藝(yi)半(ban)導體晶圓(yuan)代工(gong)制(zhi)造(zao)商(shang)(shang)。